Физические основы надежности интегральных схем

Рассмотрены вопросы теории и практики надежности интегральных схем (ИС). Обобщаются опубликованные в периодической литературе результаты физических исследований внезапных и постепенных отказов элементов гибридных тонкопленочных (ТП) ИС и полупроводниковых ИС, созданных на основе кремния. Приведены способы обеспечения и повышения надежности.
Книга может быть полезной инженерам и научным работникам, занимающимся разработкой и производством ИС, а также студентам вузов.